矽晶科技引进国外先进的热电偶(T/C)与晶振片 / 晶体片(Crystal)生产技术, 为国内半导体、光伏和 LED 客户提供优质的产品与系统的解决方案。
围绕温度监控(T/C)与膜厚监控(Crystal),覆盖工艺设备的常用备件与耗材。点击查看规格与参数。
Profile / Spike T/C,横式与立式炉管
ASM 外延炉与多晶硅铸锭炉 Control T/C
WSH、XJT、MAXTEK、INFICON;坩埚可定制
2"–12",单片最多 34 个测点
校准原理与全流程校准服务
炉管配件、T/C 配件、光罩盒、吸笔与倒片机
矽晶科技引进国外先进生产技术,依托国内制造能力与华东计量测试院的检测能力,把原材料质量、成本、技术、生产到质量的每个环节都管起来。
卧式炉管与立式炉管(THERMCO、BTU、SVG、ASM、TEMPRESS、TEL、KE 等),及日本爱发科(ULVAC)、美国 CHA 蒸发镀膜设备。
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