温度监控(T/C)与膜厚监控(Crystal)两条主线,覆盖半导体、光伏、LED 工艺设备的备件与耗材。
应用领域——横式炉管和立式炉管:半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。
应用领域——横式炉管和立式炉管:半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。
应用领域——ASM 外延炉。
应用领域——太阳能行业多晶硅铸锭炉(TC1、TC2):专用于 ALD、GT-SOLAR、精功科技、京运通、汉虹等品牌的多晶硅铸锭炉。
温度传感器直接嵌入晶圆,可对晶圆温度进行原位直接测量。由于传感器直接布置在被测晶圆上,可在传感器所在位置给出精确的真实温度;在晶圆不同位置布置多个传感器,还可以精确测量晶圆温度分布曲线,并持续监测包含升温、降温、等待等瞬态在内的完整热循环温度变化。T/C Wafer 可用于大多数半导体工艺的晶圆温度原位测量,相比传统方式具有更高精度、更高效率与更短停机时间。应用于 Photo、CVD、PVD 等工艺的 Probe Hot Plate。
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| Wafer Size | 2" ~ 12" |
| T/C Type | K、R 等 |
| Number of Sensor Available | 1 ~ 34 |
| Insulation | Teflon 套管、聚酰亚胺(Polyimide)、石英套管等 |
| Connectors | 2-Pin、Sub-miniature 插头、D-type Sub-miniature 等 |
| 安装 | PW01 平面线缆穿透设计,常压或低压系统无需任何改造即可安装 |
晶振片(Crystal)—— WSH、XJT、MAXTEK、INFICON。晶振片在半导体、LED、OLED、镜片等行业的蒸发镀膜中起膜厚监控作用。
坩埚可以根据客户的不同需求(材质和尺寸)进行加工。同时销售美国 ARC 汞灯、美国 POCO 石墨坩埚等产品。
依托华东计量测试院检测能力,提供规范的全流程校准服务,确保每一支热电偶的测温精度可追溯。
炉管配件、T/C 配件与半导体工夹具耗材。
主控恒温区:高精度的均匀性;增强型内壁:保护电热丝不塌陷、不变形;双倍高密度腔体:避免裂缝和卷曲,确保炉腔的密封性;真空成型:减少热传导,炉体表面温度低,降低能耗。特色技术:绝缘子镶嵌、热电偶安装、保温盒冷端补偿等。
热电偶连接插头与插座(Marlin Plugs & Jacks)、Mini Wire Clamp、补偿导线、高纯陶瓷绝缘管等常用配件。
台湾生产的光罩盒(Reticle Case)、光罩夹(Grip)及 PFA Cassette 等产品。
美国 H-Square 的 Wafer Handle(吸笔、镊子)、Wafer Transfer(倒片机、转平边器),以及半导体设备常用的进口品牌质量流量计(MFC)等。