产品与服务

温度监控(T/C)与膜厚监控(Crystal)两条主线,覆盖半导体、光伏、LED 工艺设备的备件与耗材。

Profile T/C 实物:带多孔绝缘管与接头的铂铑热电偶 Profile T/C 结构示意图
Profile T/C

炉管温控专用铂铑热电偶(T/C)

应用领域——横式炉管和立式炉管:半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。

  • 偶丝类型:R、S、B 等
  • 偶丝直径:0.50mm 等
  • 绝缘管:陶瓷(ALSINT 99.7%),6-hole / 10-hole、three or five 2-hole 等规格
  • 保护管:石英、陶瓷、碳化硅等
  • 连接插头:2 Pin 标准插头、迷你插头
Spike T/C

炉管温控专用铂铑热电偶(T/C)

应用领域——横式炉管和立式炉管:半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。

  • 偶丝类型:R、S、B 等
  • 偶丝直径:0.50mm 等
  • 绝缘管:陶瓷(ALSINT 99.7%)
  • 连接插头:2 Pin 标准插头、迷你插头
Spike T/C 实物:测温端特写 Spike T/C 结构示意图
ASM 外延炉 Control T/C 实物 ASM 外延炉 Control T/C 安装示意图(Side View / Top View)
Control T/C

ASM 外延炉温控专用铂铑热电偶(T/C)

应用领域——ASM 外延炉。

  • 偶丝类型:R、S、B 等
  • 偶丝直径:0.25mm 等
  • 绝缘管:陶瓷(ALSINT 99.7%)
  • 保护管:石英管
  • 连接插头:2 Pin 迷你插头
Control T/C

多晶硅铸锭炉温控专用铂铑热电偶(T/C)

应用领域——太阳能行业多晶硅铸锭炉(TC1、TC2):专用于 ALD、GT-SOLAR、精功科技、京运通、汉虹等品牌的多晶硅铸锭炉。

  • 偶丝类型:R、S、B 等
  • 偶丝直径:0.50mm 等
  • 绝缘管:陶瓷(ALSINT 99.7%)
  • 保护管:氧化铝管和氧化锆管
  • 连接插头:2 Pin 迷你插头
多晶硅铸锭炉 Control T/C 实物:陶瓷保护管与迷你插头 多晶硅铸锭炉 Control T/C 结构示意图
T/C Wafer

Plate / Stage / Chamber 专用 T/C Wafer

温度传感器直接嵌入晶圆,可对晶圆温度进行原位直接测量。由于传感器直接布置在被测晶圆上,可在传感器所在位置给出精确的真实温度;在晶圆不同位置布置多个传感器,还可以精确测量晶圆温度分布曲线,并持续监测包含升温、降温、等待等瞬态在内的完整热循环温度变化。T/C Wafer 可用于大多数半导体工艺的晶圆温度原位测量,相比传统方式具有更高精度、更高效率与更短停机时间。应用于 Photo、CVD、PVD 等工艺的 Probe Hot Plate。

参数项规格
Wafer Size2" ~ 12"
T/C TypeK、R 等
Number of Sensor Available1 ~ 34
InsulationTeflon 套管、聚酰亚胺(Polyimide)、石英套管等
Connectors2-Pin、Sub-miniature 插头、D-type Sub-miniature 等
安装PW01 平面线缆穿透设计,常压或低压系统无需任何改造即可安装
T/C Wafer 实物
Evaporation Parts

蒸镀设备专用坩埚和晶振片(Crystal)

晶振片(Crystal)—— WSH、XJT、MAXTEK、INFICON。晶振片在半导体、LED、OLED、镜片等行业的蒸发镀膜中起膜厚监控作用。

坩埚可以根据客户的不同需求(材质和尺寸)进行加工。同时销售美国 ARC 汞灯、美国 POCO 石墨坩埚等产品。

  • 晶振片品牌:WSH、XJT、MAXTEK、INFICON
  • 应用于半导体、LED、OLED、镜片等行业蒸发镀膜膜厚监控
  • 坩埚支持按材质和尺寸定制加工
  • 美国 ARC 汞灯、美国 POCO 石墨坩埚
蒸镀设备专用晶振片(Crystal) 蒸镀设备专用坩埚
Calibration

热电偶(T/C)校准服务

依托华东计量测试院检测能力,提供规范的全流程校准服务,确保每一支热电偶的测温精度可追溯。

校准原理

热电偶校准原理示意图:自动控温仪、管式电炉、标准热电偶与被校热电偶、冰点槽、温压分析

校准流程

热电偶校准流程图
  • 焊接 / 清洗 / 退火处理(1450℃ – 1hr)
  • 400℃ – 3hrs 及 700 / 900 / 1100℃ 多点稳定读数
  • 1200℃ – 1hr 稳定与数据读取
  • 数据采集与分析,Pass 后出具证书并装配
Parts & Tools

热电偶相关配件与工夹具

炉管配件、T/C 配件与半导体工夹具耗材。

加热炉体与碳化硅部件

炉管配件——加热炉体和碳化硅(SiC)

主控恒温区:高精度的均匀性;增强型内壁:保护电热丝不塌陷、不变形;双倍高密度腔体:避免裂缝和卷曲,确保炉腔的密封性;真空成型:减少热传导,炉体表面温度低,降低能耗。特色技术:绝缘子镶嵌、热电偶安装、保温盒冷端补偿等。

T/C 配件:插头插座、补偿导线与陶瓷绝缘件

T/C 配件

热电偶连接插头与插座(Marlin Plugs & Jacks)、Mini Wire Clamp、补偿导线、高纯陶瓷绝缘管等常用配件。

光罩盒与光罩夹

Mask (Reticle) Case / Grip 光罩盒 / 光罩夹

台湾生产的光罩盒(Reticle Case)、光罩夹(Grip)及 PFA Cassette 等产品。

Wafer Handle 与 Wafer Transfer

Wafer Handle & Transfer

美国 H-Square 的 Wafer Handle(吸笔、镊子)、Wafer Transfer(倒片机、转平边器),以及半导体设备常用的进口品牌质量流量计(MFC)等。

没找到您需要的型号?

坩埚等部件支持按材质和尺寸定制加工。把您的需求发给我们,尽快回复。

咨询定制